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扩散硅压力传感器原理及应用
发布日期：2010-12-01 浏览次数：3930
扩散硅压力传感器原理及应用
被测介质的压力直接作用于传感器的膜片上（不锈钢或陶瓷）， 使膜片产生与介质压力成正比的微位移，使传感器的电阻值发生变化，和用电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这一压力的标准测量信号。
扩
散
硅
压
力
传
感
器
原
理
及
应
用
原
理
图
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